193nm紫外光电自准直仪是 NORXY 诺旭机电专为 193nm 深紫外波段光学测量应用打造的一款产品，该产品搭载专为 193nm 深紫外波段专项优化的光学系统，标配行业标杆级滨松激光驱动光源，输出稳定可靠，同时支持用户按需适配同波段专用光源，灵活满足不同场景的定制化测量需求；集成深紫外专用高分辨率成像系统与高速数据传输接口，配合专属测控软件，可实现测量画面实时输出与数据同步分析，无缝对接自动化产线与智能化检测系统，助力高端半导体与光学制造领域实现核心检测设备的自主可控。

每一台出厂的NORMAT UV系列193nm紫外光电自准直仪自准直仪均经过高要求装配调整，出厂前均经过严格精度检查，确保每台设备满足技术参数要求，达到客户使用要求。