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NORMAT 气浮转台

NORMAT 高精度气浮转台

产品介绍

气浮转台是一种集成直驱电机、编码器与气浮轴承技术的精密旋转运动设备,核心通过向轴承腔体输入压缩空气,利用节流高压空气形成的气膜实现工件无接触悬浮与旋转,凭借纳米级回转精度、超平稳运动性能,广泛应用于高精度制造、检测及科研领域,是替代传统机械转台、实现超精密运动控制的核心部件。其核心优势在于无摩擦运行、高定位精度、低振动噪声,可满足半导体、航空航天、医疗设备等行业对运动控制的严苛要求,助力设备性能升级与国产替代落地。

核心优势

(一)纳米级精密性能,定位精准可控
采用高精度空气静压轴承技术,搭配超高分辨率圆光栅构建全闭环反馈系统,实现亚角秒级定位与纳米级回转运动控制,完美匹配超精密加工、检测场景的极致精度要求。采用高精度空气静压轴承技术,搭配超高分辨率圆光栅构建全闭环反馈系统,实现亚角秒级定位与纳米级回转运动控制,完美匹配超精密加工、检测场景的极致精度要求。

(二)零摩擦无磨损・长寿命免维护运行
通过高压均匀气膜实现主轴完全无接触支撑,从根源消除传统机械轴承的摩擦磨损、粉尘污染、润滑维护等核心痛点,适配高洁净、高连续运行的严苛工况。

(三)高负载高刚性・全场景灵活适配
采用多孔质节流器 / 高压气浮技术,在保证气膜高刚性、强负载能力的同时,兼顾结构灵活性与可集成性,可全面覆盖多行业、多工况的定制化应用需求。

(四)核心组件
气浮轴承系统、驱动系统、反馈系统、回转台面、控制系统。

产品适用

◎半导体领域
适用于晶圆检测、晶圆曝光、半导体封装测试等环节

◎航空航天领域
适用于卫星姿态控制转台、航空零部件精密检测、惯性导 航测试等场景

◎精密检测与测量领域
适配圆度测量系统、激光干涉检测、微米/纳米断层扫 描、X射线检测等设备

◎医疗设备领域
适用于核磁共振成像(MRI)、医疗CT设备、生物医疗检 测等场景

◎其他领域
适用于超精密加工(微加工、曲面精密加工)、天文望远镜转盘、激光切割、3D打印等场景

技术参数

参数名称 单位
高精度规格 普通版规格
台面直径 mm 150~1500
通孔直径 mm 40~250 25~250
定位精度 arc sec ±0.5 ±1.5~±2
双向重复定位精度 arc sec ≤0.5 ≤1
同步轴向误差运动 nm 200
同步径向误差运动 nm 200
倾摆误差运动 μrad 0.3
最大轴向负载 kg 50~500
最大径向负载 kg 20~130
供气压力 MPa 0.5±0.05
电子分辨率 arc sec <0.01
产品质量 kg 4~60

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