气浮转台是一种集成直驱电机、编码器与气浮轴承技术的精密旋转运动设备,核心通过向轴承腔体输入压缩空气,利用节流高压空气形成的气膜实现工件无接触悬浮与旋转,凭借纳米级回转精度、超平稳运动性能,广泛应用于高精度制造、检测及科研领域,是替代传统机械转台、实现超精密运动控制的核心部件。其核心优势在于无摩擦运行、高定位精度、低振动噪声,可满足半导体、航空航天、医疗设备等行业对运动控制的严苛要求,助力设备性能升级与国产替代落地。
(一)纳米级精密性能,定位精准可控
采用高精度空气静压轴承技术,搭配超高分辨率圆光栅构建全闭环反馈系统,实现亚角秒级定位与纳米级回转运动控制,完美匹配超精密加工、检测场景的极致精度要求。采用高精度空气静压轴承技术,搭配超高分辨率圆光栅构建全闭环反馈系统,实现亚角秒级定位与纳米级回转运动控制,完美匹配超精密加工、检测场景的极致精度要求。
(二)零摩擦无磨损・长寿命免维护运行
通过高压均匀气膜实现主轴完全无接触支撑,从根源消除传统机械轴承的摩擦磨损、粉尘污染、润滑维护等核心痛点,适配高洁净、高连续运行的严苛工况。
(三)高负载高刚性・全场景灵活适配
采用多孔质节流器 / 高压气浮技术,在保证气膜高刚性、强负载能力的同时,兼顾结构灵活性与可集成性,可全面覆盖多行业、多工况的定制化应用需求。
(四)核心组件
气浮轴承系统、驱动系统、反馈系统、回转台面、控制系统。
◎半导体领域
适用于晶圆检测、晶圆曝光、半导体封装测试等环节
◎航空航天领域
适用于卫星姿态控制转台、航空零部件精密检测、惯性导
航测试等场景
◎精密检测与测量领域
适配圆度测量系统、激光干涉检测、微米/纳米断层扫
描、X射线检测等设备
◎医疗设备领域
适用于核磁共振成像(MRI)、医疗CT设备、生物医疗检
测等场景
◎其他领域
适用于超精密加工(微加工、曲面精密加工)、天文望远镜转盘、激光切割、3D打印等场景
| 参数名称 | 单位 |
高精度规格 | 普通版规格 |
|---|---|---|---|
| 台面直径 | mm | 150~1500 | |
| 通孔直径 | mm | 40~250 | 25~250 |
| 定位精度 | arc sec | ±0.5 | ±1.5~±2 |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ≤0.5 | ≤1 |
| 同步轴向误差运动 | nm | 200 | |
| 同步径向误差运动 | nm | 200 | |
| 倾摆误差运动 | μrad | 0.3 | |
| 最大轴向负载 | kg | 50~500 | |
| 最大径向负载 | kg | 20~130 | |
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |
| 电子分辨率 | arc sec | <0.01 | |
| 产品质量 | kg | 4~60 | |